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中圖儀器NS系列探針式薄膜厚度臺階儀
中圖儀器NS系列探針式薄膜厚度臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設計的超精密接觸式儀器,廣泛應用于半導體、光伏、MEMS、光學加工等領域。通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。 NS系列臺階儀實物圖:緊湊設計,高效集成 性能特點 1.......