供應(yīng)青島福潤(rùn)德牌LED專用擴(kuò)散爐
概述：LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對(duì)圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。
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LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對(duì)圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。
特點(diǎn)：
★關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性。
★具有可編程的升、降溫功能。
★具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能。
★可存儲(chǔ)九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。
★曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。
★具有高抗干擾能力。
★具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。
★可為您提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
★可配工藝管數(shù)量：1~4管/臺(tái)； ★工作溫度范圍：400～1300℃；
★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～1000mm 600~1280℃±0.5℃；
★單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：600～1280℃±0.5℃/24h； ★最大可控升溫速度：15℃/min
★最大降溫速度：5℃/min
- frdwdz發(fā)布的信息
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