二手南光1100MM真空電鍍膜機(jī)配置：工件盤 公自轉(zhuǎn)，晶控
概述：配置：工件盤 公自轉(zhuǎn)，晶控 310，單槍 電子槍 ，雙阻蒸，考夫曼離子源，鍍膜室內(nèi)采用燈管加熱
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2024-04-27 10:36:03 點(diǎn)擊3730次
分類：
服務(wù)區(qū)域：
江蘇/鎮(zhèn)江/揚(yáng)中/經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)
價(jià)格：
- 12600 元
聯(lián)系電話：
0769-23105805
楊肖梅
QQ：
2531943211 
工廠轉(zhuǎn)讓2臺(tái)南光1100 9成新鍍膜機(jī) 包安裝調(diào)試服務(wù)（銷售技術(shù)楊經(jīng)理：18103045976）
型 式：1100DBI
產(chǎn)品參數(shù)：
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 50rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式
排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵2個(gè)擴(kuò)散泵Polycold（或2個(gè)冷凝泵）
性 能
達(dá)到壓力 7.0×10-5Pa以下
排氣時(shí)間 15分（大氣壓～1.3×10-3Pa）
基板溫度 最高：350℃
工作條件
設(shè)備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA
水流量 140升/分以上
空氣壓力 0.5MPa以上
重量 約9000kg
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