半導(dǎo)體設(shè)備維修 MKS SEMOZON 140 HP臭氧發(fā)生器維修 AX8200臭氧發(fā)生器維修 AX8506臭氧發(fā)生器維修  臭氧發(fā)生器維修 ASTEX微波電源維修 ASTEX AX2110微波電源維修 ASTEX AX2115微波電源維修 Varian直流濺射電源維修   Varian控制器維修 880RS真空控制器維修 MKS控制器維修 LC-5甩干機(jī)驅(qū)動(dòng)器維修 LC-4甩干機(jī)驅(qū)動(dòng)器維修 超聲波發(fā)生器維修 UV BOX電源維修B0145-03 高壓激光射頻電源 多型號(hào)射頻電源維修,工業(yè)電源維修射頻電源維修7900B SYSTEM  ASM RF POWER SOURCE MAIII-5KY RF維修　美國(guó)AE CESAR RF射頻電源維修CESAR1330/136故障無輸出維修RFPP RF30S射頻電源維修 3150017-009 SE 118 0920-01036維修 ULVAC RFS-2780A 27.12MHz 8kW RF GENERATOR愛發(fā)科射頻電源維修

主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射頻電源及直流電源 。同時(shí)為各地區(qū)的半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業(yè)提供級(jí)射頻電源維修保養(yǎng)。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護(hù)服務(wù)。 

維修品牌：ASTEC（雅達(dá)）、日本COSEL （科索）、LAM（泛林）、APPLIED AMAT(應(yīng)用材料）、美國(guó)AE電源(MDX、MDX II、 pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、 美國(guó)ENI電源（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德國(guó)Singulus電源等。美國(guó)維易科(Veeco)儀器 ENI RFC-5 RF RF射頻電源，高壓電源維修 ENI OEM-12A RF Generator射頻電源 控制器 匹配器維修

服務(wù)品牌：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU。       美國(guó)賽恩SEREV R2001射頻電源二手銷售 射頻電源匹配 射頻電源射頻控制器維修RF Generator AD-TEC型號(hào)AX-2000修理

維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。
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